緣起,無塵室最早在美國聯邦標準 209 上出現,之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。隨著工業的日益發展,在發歐洲與日本各國的版本 也逐漸出現。 到了 90年代後期,產業界體認到若是無共同標準,就不能實現經濟的全球化,於是 ISO-14644 的產生。
無塵室的定義 |
無塵室(Clean Room 亦即潔淨室)是對一個封閉性空間內空氣中的微粒、溫溼度、氣流型式、震動與噪音等環境因素做控制,所建造出來的特殊封閉性環境空間。 無塵室亦是個採層層過濾以去除空氣中微粒存在,並控制室內溫度與溼度於恒定狀態的密閉空間。 是目前半導體業、醫學、生物化學、製藥、食品業等不可或缺的重要設施;近年國內隨著科技及生活水準的提高,無塵環境除了為產業界之必要條件, 對醫療院所內手術室、加護病房、燙傷病房、嬰兒室、實驗室等,乃至製藥、食品加工等的無菌要求,亦成為最重要的一環。 |
無塵室的等級 |
等級的定義模式如下: Class x ( Y μ m ) 其中 x 是無塵室的等級,例如 100 或 10000 等,Y 是粒徑如 0.2 μ m , 0.5 μ m 等。 使用者規定該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。 例如: Class ( 0.1 μ m , 0.2 μ m , 0.5 μ m ) Class 100 ( 0.2 μ m , 0.5 μ m ) Class 100 ( 0.1 μ m , 0.2 μ m , 0.5 μ m ) |
無塵室工程三大系統 | ||||||
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無塵無菌室隔間板
各種產業潔淨等級要求對照表 |
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無塵室依等級的不同,對一定空間的微塵粒子最大容許量亦有一定規範,在國際標準中最常用的規範為 Fed-Std-209E |
美國聯邦標準 - 209E 潔淨室規格表 |
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美國聯邦標準 - 209D 潔淨室規格表 |
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